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电子制造设备
电子制造设备
蒸发设备
工  艺:薄膜沉积
工艺介绍:蒸镀设备
设  备:Ei 系列;EVD
型  号:蒸发设备:蒸发Ei系列 ei-501z
代表器件/工艺制程:SAW器件制造工艺
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溅射设备
工  艺:薄膜沉积
工艺介绍:溅射设备
设  备:SME 系列;CS-200N;CS-S
型  号:溅射设备:CS-200z
代表器件/工艺制程:压电MEMS的PZT溅射工艺、BAW器件的成膜/加工技术、WLP的成膜/加工技术
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IH-860 离子注入设备
工  艺:离子注入
工艺介绍:离子注入设备
设  备:IH-860 系列;IMX-3500 系列
型  号:IH-860
代表器件/工艺制程:沟槽构造功率器件制造
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