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真空配套零部件
真空配套零部件
桌面式椭偏仪
UNECS系列是一款光谱椭偏仪,能够高速且高精度地测量薄膜的薄膜厚度和折射率。 它采用独特的测量方法,实现高速测量和紧凑型的设计。根据应用的不同,可以提供各种配置,从独特的便携式到全自动类型,以及与真空环境相对应的设备内嵌式产品。
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氦捡漏仪
HELIOT 900系列是一种先进的检漏检测器,具有较大的排气速度和出众的便利性。 我们始终保证在各种泄漏检测情况下,设备都能达到检漏的最佳性能。
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配套电源
DC-10和DC-20是10kW及20kW输出功率的溅射用DC電源。它由可靠的部件和电路组成。
它是等离子体负载的最佳可靠电源,其设计反映了包括电源应用在内的多年积累的专业知识。
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低温泵全系列
提供从4英寸到30英寸的10种以上的标准型低温泵,也提供用于各种不同用途的低温泵,例如用于超高真空的烘烤型低温泵、用于实验或分析设备的低振动型、或抽腐蚀气体的防腐型产品。用于溅射工艺的低温泵,我们通过提高其排气容量,延长再生周期,从而提升设备运转效率。
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真空泵及机组
爱发科提供各行业生产用全系列真空泵产品,干式真空泵,油旋转真空泵,机械增压泵,溅射离子泵,涡轮分子泵,油扩散泵,钛吸气泵
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