FPD用溅射设备
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工业涂层用溅射设备
配套电源
它是等离子体负载的最佳可靠电源，其设计反映了包括电源应用在内的多年积累的专业知识。
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产品编号
电源
所属分类
真空配套零部件
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产品详细
参数
DC-10和DC-20是10kW及20kW输出功率的溅射用DC電源。它由可靠的部件和电路组成。
它是等离子体负载的最佳可靠电源，其设计反映了包括电源应用在内的多年积累的专业知识。
主要特点
• 轻量·省空间
--轻量·省空间的设计，安装简易
• 输出电压范围可选
--除800V规格外，还提供1000V规格。
• 丰富的电弧处理
--丰富的电弧控制系统。
• 不需要冷却水
--强制空冷系统，不需要冷却水。
• 可以安装高速电弧中断回路
--实现标准的低电弧能量。 此外，可以安装可选的高速电弧中断电路。
• 自由的并联操作功能
--DC-10，DC-20：可选的并联运行功能允许自由组合10kW和20kW，并联运行多达12个单元。 (最高240千瓦)
主要应用：
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