透明或半透明薄膜(氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等)的膜厚
折射率
消光系数的测量
桌面式椭偏仪
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产品编号
UNECS
所属分类
真空配套零部件
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产品详细
参数
UNECS系列是一款光谱椭偏仪，能够高速且高精度地测量薄膜的薄膜厚度和折射率。 它采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑型的设计。根据应用的不同，可以提供各种配置，从独特的便携式到全自动类型，以及与真空环境相对应的设备内嵌式产品。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A使用自动R-θ台和自动对焦功能，自动快速测量基板表面的膜厚分布，并将结果显示为彩色图例。
主要特点
• 高速測定：
--独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
• 适用于可见光谱：
--波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。
• 紧凑型传感器单元：
--光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
• 丰富的产品阵容：
--产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
主要应用：
上一个
无
下一个
氦捡漏仪
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