FPD
半导体
电子机器
光学
研究开发
提供从4英寸到30英寸的10种以上的标准型低温泵,也提供用于各种不同用途的低温泵,例如用于超高真空的烘烤型低温泵、用于实验或分析设备的低振动型、或抽腐蚀气体的防腐型产品。用于溅射工艺的低温泵,我们通过提高其排气容量,延长再生周期,从而提升设备运转效率。
主要特点
• 与CTI低温泵CT-8完全可互换。
• 氢气排放特性优于CT-8
• 可以多台运作(最多3台)
主要应用:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
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